Sistema de tratamiento de agua ultrapura semiconductor

Componentes principales

1. Unidad de pretratamiento de precisión de múltiples etapas: filtro multimedia, filtro de carbón activado y filtro de seguridad para interceptar sedimentos, coloides, cloro y partículas grandes, reduciendo el valor SDI para proteger los elementos de membrana posteriores.
2. Host de pulido de ultrafiltración de alta gama: elimina partículas submicrónicas, microorganismos y materia orgánica residual; combinado con módulos RO y EDI para alcanzar el estándar de agua ultrapura de resistividad de 18,2 MΩ·cm
3. Banco de tanques de presión de acero inoxidable de alta pureza SUS316L: contenedor de almacenamiento anticorrosión y libre de contaminación para estabilizar la presión de la tubería durante la producción continua de lotes de obleas
4. Grupo de bomba de refuerzo redundante + gabinete de monitoreo inteligente PLC: Seguimiento en tiempo real de resistividad, TOC y recuento de partículas; Reposición automática de agua con protección contra funcionamiento en seco, sobrepresión y baja presión.

Principio de funcionamiento: El agua cruda se somete a un pretratamiento graduado, desalinización por ósmosis inversa, desionización profunda EDI y pulido de precisión por ultrafiltración para alcanzar índices de agua ultrapura. El UPW calificado se almacena en tanques de presión SUS316L con recirculación constante para evitar la degradación de la pureza. Cuando varias líneas de producción consumen agua simultáneamente y la presión de la tubería cae, el sistema genera agua automáticamente para mantener un suministro estable e ininterrumpido de agua de alta pureza.

Ventajas: Índices estrictos de agua ultrapura (TOC ultrabajo, cero micropartículas) para reducir la pérdida de rendimiento del chip; salida de gran flujo continuo de 24 horas para soportar la fabricación de obleas las 24 horas; equipo de almacenamiento de acero inoxidable SUS316L, excelente resistencia a la corrosión por cloruro, fácil esterilización CIP en línea, sin contaminación secundaria; monitoreo completamente automático de la calidad del agua en tiempo real con función de alarma anormal; caudal y capacidad del tanque personalizables según la escala de producción de obleas y requisitos del nodo de proceso

Solicitud